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利用SICK光柵產(chǎn)生的莫爾條紋測(cè)量位移和輪廓形狀等的長度計(jì)量技術(shù)

發(fā)布時(shí)間： 2017-02-10　　點(diǎn)擊次數(shù)： 1330次

利用SICK光柵產(chǎn)生的莫爾條紋測(cè)量位移和輪廓形狀等的長度計(jì)量技術(shù)。測(cè)量位移時(shí)﹐將計(jì)量光柵副中的光柵尺和指示光柵分別固定在長度測(cè)量工具或機(jī)床等的移動(dòng)件(例如滑架)和不動(dòng)件(例如機(jī)床導(dǎo)軌)上。兩者相隔一個(gè)很小的間隙(一般為0.05～0.1毫米)。當(dāng)滑架移動(dòng)時(shí)﹐出現(xiàn)在SICK光柵副上的莫爾條紋的周期性光強(qiáng)變化﹐通過光電轉(zhuǎn)換元件轉(zhuǎn)換為正弦波形電信號(hào)﹐經(jīng)放大﹑整形﹑細(xì)分﹑計(jì)數(shù)和顯示等電子部分后即可得出光柵位移量。由光源﹑計(jì)量光柵副和光電轉(zhuǎn)換元件等組成的部件稱為光柵式長度傳感器。由光柵式長度傳感器和放大﹑整形﹑細(xì)分﹑計(jì)數(shù)和顯示等電子部分組成的系統(tǒng)稱為光柵測(cè)量系統(tǒng)(見圖)，常用具有相位依次差1/4線距的四組線條的SICK光柵作為指示光柵。當(dāng)以圓光柵副代替長光柵副時(shí)﹐類似的測(cè)量系統(tǒng)可用於測(cè)量角位移。長﹑圓光柵測(cè)量系統(tǒng)的度分別可達(dá)1微米/1000毫米和0.5/360°以上。

隨著SICK光柵制造技術(shù)和電子技術(shù)的發(fā)展﹐從20世紀(jì)50年代開始應(yīng)用SICK光柵測(cè)長技術(shù)來測(cè)量位移。這種方法已用于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)﹑數(shù)字顯示工具顯微鏡﹑漸開線測(cè)量儀﹑齒輪單面嚙合檢查儀和電子千分尺等的測(cè)量系統(tǒng)中﹐也常用於數(shù)字控制機(jī)床的定位反饋系統(tǒng)和其他機(jī)床的定位系統(tǒng)中。70年代又開始利用莫爾輪廓圖測(cè)量表面輪廓形狀和變形等。

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